除了球形之外，還可以使用具有鋒利尖的針型。

花崗巖臺

為了實現高精度的測量，三坐標測量機的表面通常是由石頭制成的平臺。石材面板隨著時間的推移形狀變化非常小，不易劃傷，因此具有可以長期穩定使用的優點。

夾具

使用坐標測量機的更關鍵的工具之一是用于將測量目標固定到位的夾具。

測量目標固定的原因是在 CMM 操作期間不會移動，因為零件移動會導致錯誤。通常使用固定板、夾具和磁鐵等工具

空氣壓縮機和干燥機

機械驅動的坐標測量機需要帶有干燥器的空氣壓縮機。可以找到標準橋式或龍門式 CMM。

軟件

多測頭坐標測量機的軟件大致有兩種。一個是每個測量機制造商獨立開發的用于自己的測量機的軟件比如蔡司三坐標軟件calypso。

二是第，三方開發的軟件，可供多家廠商的測量儀器使用。

如何使用坐標測量機 (CMM)：

測量前將測量目標放在計量實驗室中至少 5 小時，以使目標調整到室溫(通常為 68°F)。這將防止由于熱膨脹引起的測量誤差和差異。通過手動或使用控制 PC 將探頭引導到所需的測量位置來執行測量。CMM 將記錄探頭位置的 X、Y、Z 坐標。隨著點的繼續進行，系統軟件將計算指定的尺寸，例如直徑、長度、角度和其他關鍵尺寸。

測針校準(探頭校準)：

為了準確地開始測量，必須對與物體接觸的觸針(探針尖，端)進行校準，原因有兩個。首先是識別手寫筆的球心坐標。二是設置測針球體直徑。通過設置直徑，可以通過將半徑從實際接觸點(球體外部)偏移到球體中-心坐標來計算。對于校準，通常使用具有已知球形度的球體，稱為參考球體。

使用注意事項：

雖然有些型號可以進行 0.1 μm 量級的測量，但正確使用和管理對測量精度至關重要。驗證使用過程中活動部件水平和垂直移動。此外，使用測量標準或類似物體檢查指示錯誤。為了執行準確的測量，在計量實驗室中讓目標溫度調整到室溫至關重要。或者，必須設置測量參數以校正任何溫差。對于接觸式測頭，確保測頭在測量過程中以恒定速度接觸目標是很重要的。

維護和校準：

定期三坐標測量機需要定期維護和檢查，以便連續進行高精度測量。尤其是采用滑動部件機械驅動的橋式三坐標測量機，需要定期更換磨損部件、潤滑和清潔系統以獲得好的性能。